Технология нанесения композиционного покрытия никиль-алмаз-утрадисперсный алмаз на лезвия корпусного инструмента

Патенты Республики Беларусь № 12815 и 19486на изобретения
Патент Республики Беларусь № 6787 на полезную модель

TY BY 100104924.050-2014

Золотая медаль Петербургской технической ярмарки, г. Санкт-Петербург, 2010 г.


Контакты:
тел.: + 375 (17) 209-51-96
e-mail: tsybul@bsu.by

Назначение:
Корпусной инструмент с лезвием из алмазного синтетического микропорошка (С) и ультрадисперсного алмаза (УДА) на никелевой связке, предназначен для резки сверхтвердых материалов и для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы из материалов, используемых в микроэлектронике. 

Область применения:

  • микроэлектроника  

Характеристика процесса осаждения:

  • Раствор-суспензия для нанесения композиционного покрытия (КЭП) никель–алмаз–ультрадисперсный алмаз (Ni–C–УДА) работает при температуре 40–45 оС, непрерывном перемешивании раствора сжатым воздухом (расход 0,1 м3/ч на 1 л раствора) и вращении алюминиевого корпуса со скоростью 15 об/мин. 

Характеристика КЭП лезвия режущего инструмента:

  • композиционное покрытие Ni–C–УДА – плотное, равномерное, упрочненное синтетическим алмазом и ультрадисперсным алмазом;
  • синтетический алмазный микропорошок равномерно распределен по объему покрытия и составляет в среднем 70–80 % занимаемой поверхности;
  • ультрадисперсный алмаз приводит к снижению доли и размеров конгломератов в формируемом покрытии, улучшению качества реза, уменьшению его ширины, исключению сколов с планарной стороны кремниевой пластины;
  • лезвие режущего инструмента обладает высокой прочностью на износ (износостойкость покрытия Ni–C–УДА на 10–15 % больше покрытия Ni–C), обеспечивает более высокую производительность при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы (величина рабочей подачи возросла от 40¸50 до 60¸70 мм/с).

Освоение в производстве:

  • ОАО «Планар-СО» (г. Минск, Беларусь)

Форма сотрудничества:

  1. Поставка корпусного инструмента: ОАО «Планар-СО» пр. Партизанский, 2, г. Минск, Беларусь. 220763. Тел. +375 (17) 2237117; факс+375 (17) 2260422.E-mail: dar@kbtem.by. marketing@kbtem.by
  2. Продажа лицензии на право использования технологии: ОАО «Планар-СО» и НИИ ФХП БГУ, ул. Ленинградская, 14, г. Минск, Беларусь. 220006, тел. +375 (17) 209-51-96. E-mail: tsybul@bsu.by